电动风囊泵Bellows Pump 电动波纹管泵半导体湿法制程光刻胶氢氟酸波纹管计量泵风囊计量泵流路无金属灌装泵灌装计量泵锂离子电池电解液注液

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EDB-5N 电动风囊泵 Bellows Pump 光刻胶泵光阻泵

光刻胶涂覆电解液注液
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商品描述

光刻胶涂覆电解液注液

EDB-5N电动风囊泵属于工业定制款，电动风囊泵（Bellows Pump）也称电动波纹管泵，依靠波纹管往复伸缩调节容积大小来完成吸液和出液，实现高精度的化学分配。电动风囊泵与介质接触的材料为PFA、PTFE,流路不含金属材料，同时无需轴封的设计可以防止液体泄露和外部气体进入。因此，电动风囊泵常被用于半导体湿法制程中腐蚀性化学品和非腐蚀性液体物料的转运、循环和输送，如：光刻胶、纯水、氢氟酸和其他药液。

Microdex EDB系列电动风囊泵（电动波纹管泵）技术已经获得国家专利，

专利号：ZL 2022 2 2546451.8 一种电动风囊输液泵及输液控制系统

电动风囊泵产品用途：

半导体光刻工序的光刻胶涂覆
锂离子电池等电池制造工序的电解液注液
其他液体化学品或液体物料的定量吐出

电动风囊泵特点：

接液部由氟树脂构成，适用于各种药液；
接液部无滑动结构，几乎不因泵的动作产生粒子；
丝杠传动，实现数字化的±1%精度吐出量控制；
无外部气体进入，不易产生电解液结晶化结构；
可实现高精度连续流流体输送（定制）

产品参数：

型号	EDB-5N
使用流体	光刻胶、纯水、药液
单次行程最大吐出量（ml）	5
行程次数（spm）	1-30
流量范围（ml/min）	1-150
接管口径（mm）	φ6Xφ4
吐出量精度（%）	±1%
流路材料	PTFE、PFA、SiC
流体粘度（cP）	300
吐出压力（MPa）	0.3